臭氧与化学熏蒸消毒除菌较为：
臭氧做为广谱性、无残留环境污染气体消毒液比食品企业常用的消毒剂具有特殊的优势。与次氯酸钠溶液、高锰酸钾溶液、室内甲醛(福尔马林溶液)、二氧化硫(硫磺熏蒸)等化学消毒对比：其杀菌能力与次氯酸钠溶液非常，高过其他消毒液。臭氧会自行分解成O2，不会产生残留环境污染，消毒处理无需要室内通风。常规消毒都应室内通风或化学中合，不便又很减少消毒效果。臭氧可以直接食品安全性应用作除菌或除霉保鲜，为干式消毒杀菌，简便易行。臭氧除菌浓度值食品安全性是极为薄弱的氧化浓度值，食品安全性没害。化学消毒本质上是不可行的，实际应用应非常严格并操作复杂。
臭氧杀菌的一个过程归属于细胞生物学氧化还原反应，臭氧杀菌有以下三种方式：
(1)臭氧氧化降解了病菌内部结构空气氧化葡萄糖水所应该的葡萄糖氧化酶。
(2)立即与细菌、病毒感染发生作用，破坏其植物细胞、DNA和RNA，分解蛋白质、脂类类与糖等生物大分子高聚物，使病菌的能量代谢生长发育生长过程受到破坏。
(3)融合细胞质机构，进入细胞质内应用于后膜蛋白和内部脂多糖，使细胞产生渗透性崎变，造成细胞溶化身亡，并将身亡菌身体内的基因、寄生物种、生存病毒粒子、噬菌体衣原体及热原(细菌和病毒代谢物、类毒素)等融解转性亡国。不难看出，臭氧杀菌归属于溶菌，是三种灭菌方法里**地方式。即然臭氧能杀死病毒、病菌，那样是否会也把健康细胞杀掉呢?不容易，由于健康细胞有着强大的均衡辅因子，因此臭氧对健康细胞没害。
